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半自动匀胶机MSC-200F

产品特点

手动上/下料，晶圆自动对中，自动涂胶，晶圆背面清洗，晶圆边缘清洗，可依工艺需求选配显影装置CUP方便拆卸清洁，采用可编程控制器(PLC) 控制附有FFU层流罩以及防静电，洁净度高

技术参数

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