匀胶显影机SC-200/SC-300
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产品特点
- 用于标准圆形硅晶片匀胶工艺和显影工艺
- 应用于：功率器件MOSFET/IGBT,LED,MEMS
- Flip-Chip,WLP,CSP工艺的光刻胶或化学药液的涂佈，显影，清洗，烘烤工艺
技术参数
产品特点
技术参数
