Foup清洗机FC-300
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产品特点
- Chamber内可做超音波清洗，高压喷洗及真空干燥
- 真空腔体以纯水清洗，真空干燥喷嘴管路皆沿着桶壁排列
- 同时洗净Body 及Cover
- 真空净化去除AMC
- 清洁速度：20(WPH)
- 真空IP干燥
- N2/CDA
- FOUPsize:300,mm
产品特点
