单晶圆清洗机SWC-3008/SWC-3012

产品特点

• 自动化晶圆运输系统达到最大吞吐量
• 4层清洗室达到最小占地面积
• 4手高速操作机构
• 最大限度减少烟雾，回弹和死区的污染
• 多种化学品的重复利用(可选)
• 精准清洁的化学控制
• 可靠的非接触磁性卡盘
• 无烟排水碗和波纹管
• 高达3000rpm 的旋转速度
• 4阶段酸、碱、IPA可选(Meg a-sonic 除外)
• 摆线臂设计，最大程度减少化学反弹
• 独立排气压力控制
• 化学品注射后立刻冲洗
• 精密无污染超声波流量计
• 反吸阀防止化学品掉落
• 实时流量控制(可选)

技术参数